400度晶圆芯片高温真空烘箱，10pa硅晶片真空高温烤箱

型号

VOD-90

VOD-210

VOD-216

真空度

≤10 pa

电源

AC380V 3φ 50HZ

功率（KW）

12

18

20

工作环境温度

性能

温度范围

RT+10℃～450℃

升温时间

2 ℃/minute～4 ℃/minute

降温时间

2 ℃/minute～4 ℃/minute

(400℃降至100℃,客户需配冷却塔)

结构

外壳

冷扎碳钢板，经防锈处理后静电喷塑，耐划伤

内胆

5mm厚，SUS304不锈钢，不锈钢内外表面抛光

保温材料

厚度150毫米硅酸保温棉，保温性能良好

箱门

真空密封紧迫;门缝自带高温保护.(高温状态下使用,为耗品,建议2-3个月更换一次)

真空泵

LEYBOLD真空泵.(客户可自行购真空泵,或者制定真空泵型号);

加热系统

四面辐射加热

电器系统

系统采用PLC控制,加热启停、冷却启停、真空泵启停、充氮气启停； 

温控输出

SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器  

安全保护

加热电流过流、系统短路保护、电压过压保护、真空泵过负载、

缺相保护、电炉超温报警等功能

内容积（L））

91

215

252

内部尺寸（㎜）

W450×D450×H450

W560×D640×H600

W700×D600×H600

外部尺寸（㎜）

W800×D800×H1715

W910×D990×H1865

W1050×D950×H1865