半导体光刻工艺100级无尘热风循环烘箱

 本公司COL－系列无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤，强制送风循环方式。双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。

技术参数：     

1. 百级无尘烤箱型号:COL-2

2. 无尘烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 温度范围：RT＋60℃～300℃

4. 无尘烤箱洁净度：100级；

5. 温度均匀性: ±1.5%

6. 波 动 度：±0.5℃

7. 电    源：380V 50Hz 7.5KW；

8. 箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE),内室材料：采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢,保温材料：超细玻璃棉； 

9. 空气循环装置：大容量轴流电机；

10. 加热方式：不锈钢电加热器；

11. 温度测量传感器：Pt100 铂电阻；

12. 控制仪表：进口数显温度控制器，PID调节，控制精度0.1℃；

13. 超温保护仪表：独立于工作室主控制的超温保护系统，保证试验品的安全；

14. 控制系统：主要电器件均采用斯耐德、欧姆龙等进口元气件；

15. 排 气 口：ф50；

16. 隔    板：2层，不锈钢方通，承重约30KG。

无尘烤箱热线：021-37693997，15221744475 传真:021-37832075联系人：蒋鑫,

网站：www.done-e.com.